牛牛视频免费观看,久久精品噜噜噜成人,七色福利影视在线观看,精品国产免费二区二区

復納科學儀器(上海)有限公司
技術文章
您現(xiàn)在所在位置:首頁 > 技術中心 > 掃描電鏡在半導體失效分析中的應用案例分享

掃描電鏡在半導體失效分析中的應用案例分享

 更新時間:2022-03-09 點擊量:1934

電子半導體材料是現(xiàn)代制造的基礎,是推動集成電路產業(yè)發(fā)展創(chuàng)新的關鍵,幾乎貫穿整個集成電路制造過程。電子器件在實際服役過程中,由于設計原因或器件與環(huán)境相互作用,性能或結構發(fā)生變化,可能會出現(xiàn)性能下降或者破壞,需要對失效的原理、機理進行明確并制定相應的改善措施。

 

失效分析對于糾正設計和研發(fā)錯誤、完善產品、提高產品良品率和可靠性有重要意義,飛納電鏡可以提供簡單、高效、精確的電子半導體材料檢測方案,對于失效模式的確定有很大的幫助。

 

案例分享 1:刻蝕線路邊角微觀結構檢查

 

線路邊角的平整性、潔凈度、缺陷、孔洞等會影響后續(xù)制程工藝,通過四分割 BSD 探頭的 Top 模式可以清晰呈現(xiàn)邊角的形貌。結合飛納電鏡優(yōu)中心傾斜樣品臺,可以多角度地觀察到蝕刻邊角的平整性及銳利度,從而指導工藝的改進。

 

優(yōu)中心.jpg

原始圖.png top模式.png

原始圖                                                           Top模式

傾斜角度.png 傾斜放大.png

傾斜角度                                                         傾斜放大

 

TOP 模式工作原理

 

飛納臺式掃描電鏡四分割背散射電子探測器,可給出樣品成分和形貌信息,為您提供兩種成像模式:

 

成分模式(Full mode):同時給出樣品表面形貌與成分信息,不同元素可由其對比度的不同加以分辨。

 

形貌模式(Topographical mode):在圖像中去除了成分不同所造成的差異,強化樣品的 3D 信息,使樣品表面的凹凸起伏等微觀結構更加明晰。尤其適用于表面粗糙度和缺陷分析。

 

BSD.png  TOP.png

成分模式圖像(包含樣品成分與形貌信息)    形貌模式圖像(僅突出樣品表面形貌特征)

 

飛納臺式掃描電鏡可以快速地在這兩種成像模式間任意切換。

 

案例分享 2:Pad 表面缺陷和異物檢測

 

表面缺陷檢查.png

 

表面缺陷和異物是微觀結構觀察的重要內容,上圖中(A)~(D)是對 Pad 表面焊接情況、表面缺陷的觀察。而且電子材料中許多時候需要對材料淺表層的狀態(tài)進行觀察,Phenom SEM 可以快速地進行電壓切換從而進行不同深度表層狀態(tài)的分析,如案例(E)、(F)所示,分別為 5kV、15kV 加速電壓下觀察到的材料表面,可以觀察到*不同的表面狀態(tài)。

 

案例分享 3:電子器件異物及成分分析

 

在電子器件的生產中,往往由于原料不純、制程污染等原因引入一些雜質,這些異物對產品性能有很大影響,常會造成器件的失效。在分析的過程中,利用搭載 EDS 的掃描電鏡的形貌分析能力和元素分析能力,可以很好的找到異物,并對異物形態(tài)、成分、位置進行確認,進而幫助異物的溯源和工藝的改善。

 

異物eds.png

 

案例所示為鋁墊表面的異物分析,在光學顯微鏡下可以發(fā)現(xiàn)鋁墊表面存在的一些白點,利用 Phenom 飛納電鏡的光鏡—電鏡聯(lián)動功能,可以快速地進行缺陷定位,再通過 EDS-Mapping 進行成分分析可以明顯地發(fā)現(xiàn)含 Cl、Ag 的異物,殘留的氯會導致打線的結合力變差而引起失效。 

傳真:

郵箱:info@phenom-china.com

地址:上海市閔行區(qū)虹橋鎮(zhèn)申濱路 88 號上海虹橋麗寶廣場 T5,705 室

版權所有 © 2018 復納科學儀器(上海)有限公司   備案號:滬ICP備12015467號-2  管理登陸  技術支持:化工儀器網  GoogleSitemap

主站蜘蛛池模板: 人人妻人人添人人爽欧美一区| 91新在线免费观看| 亚洲国产精品尤物yw在线观看| 色逼视频东京蜜汁| 美眉影院AV| 操屁精品视频在线播放| 国产精品丝袜黑色打电话给朋友| 无码国产色欲XXXXX视频| 色婷婷综合久久久中文字幕| aaa毛片视频免费观看| 男女play超h免费视频网站| 欲求不満な若妻妊妇| 国产+高潮+白浆+无码| 无码国产一区二区三区四区公司| 美女打屁屁内裤都脱了动态图| 香蕉国产在线| 欧美人妻精品一区二区三区| 免费看黑色视频| 坂道美音18部无码观看| 一本色道久久88加勒比—综合| 亚洲日本网站导航| 97国产大学生情侣酒店| 爱城aisex| 超级色的网址| 国产精品亚洲А∨无码播放| 成年免费视频播放网站推荐| 亚洲AV女优第一页| 图片区小说区激情区偷拍区| 全身裸体一级,肛门视频| 日本美女一二区| 天天操天天射夜夜撸| 欧美丰满熟妇BBBBBB百度| 国产精品免费视频一区二区| 欧美成A人片在线观看久| 国产av国片精品jk制服丝袜| 韩国精品一区二区三区无码视频| www黄色视频在线播放| 东京热综合老色鬼| 美女美穴东京热009pp| 国产女人综合久久精品视| 无码专区观看素人|