臺(tái)式掃描電子顯微鏡利用高能電子束與樣品表面相互作用，從而獲得樣品表面形貌、成分和結(jié)構(gòu)信息。由電子槍發(fā)射的電子束經(jīng)過(guò)柵極靜電聚焦后成為點(diǎn)光源，然后在加速電壓作用下，經(jīng)兩三個(gè)透鏡組成的電子光學(xué)系統(tǒng)，電子束被會(huì)聚成幾十埃大小并聚焦到樣品表面。該入射電子束在物鏡上方掃描線(xiàn)圈的驅(qū)動(dòng)下，在試樣表面的微小區(qū)域進(jìn)行有序的光柵掃描。高能電子束射入試樣后，在其表面激發(fā)出二次電子、背散射電子、X射線(xiàn)和俄歇電子等多種信息，這些信息被相應(yīng)的探測(cè)器收集并轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，經(jīng)過(guò)放大處理后在顯示器上顯示出樣品表面的圖像。
臺(tái)式掃描電子顯微鏡的性能特點(diǎn)：
-小巧便攜：相比傳統(tǒng)的落地式掃描電子顯微鏡，體積小巧，可安放在實(shí)驗(yàn)臺(tái)面上操作，便于在不同實(shí)驗(yàn)室或現(xiàn)場(chǎng)使用。
-分辨率高：具有較高的分辨率，能夠清晰地觀(guān)察到樣品表面的微觀(guān)結(jié)構(gòu)和細(xì)節(jié)。
-操作簡(jiǎn)單：通常配備有人性化的操作界面和自動(dòng)化功能，使得操作更加簡(jiǎn)單方便，即使是非專(zhuān)業(yè)人員也能快速上手。
臺(tái)式掃描電子顯微鏡的使用注意事項(xiàng)：
1.真空包裝：在給試品檢驗(yàn)前，一定要進(jìn)行真空包裝妥善處理。臺(tái)式掃描電鏡是靠離子束掃描儀物品表面來(lái)顯像的，氣體的出現(xiàn)會(huì)使離子束變形，影響掃描儀實(shí)際效果。
2.樣品處理：確保樣品表面清潔、干燥且無(wú)油污，以免影響觀(guān)察效果。對(duì)于非導(dǎo)電樣品，需要進(jìn)行噴金或噴碳處理以增加其導(dǎo)電性。
3.參數(shù)設(shè)置：根據(jù)樣品的性質(zhì)和觀(guān)察需求，合理設(shè)置加速電壓、工作距離等參數(shù)。過(guò)高的加速電壓可能會(huì)損傷樣品，而過(guò)低的電壓則可能導(dǎo)致圖像質(zhì)量不佳。
4.避免碰撞：在調(diào)整樣品位置或更換樣品時(shí)，要小心操作，避免碰撞鏡頭和樣品座。
5.定期維護(hù)：定期對(duì)電鏡進(jìn)行清潔和維護(hù)，包括清理灰塵、檢查零部件磨損情況等，以確保其長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
6.安全操作：在使用電鏡時(shí)，要遵守相關(guān)的安全規(guī)定，如佩戴防護(hù)眼鏡、避免觸摸高壓部件等。
